Konfokales Weisslichtmikroskop µSurf® (stationär und mobil) – NanoFocus

Um Oberflächenuntersuchungen in 3D durchzuführen, werden spezielle konfokale Mikroskope benötigt. Das Institut für Produktionstechnik und Umformmaschinen besitzt derzeit drei verschiedene konfokale Messsysteme. Hierunter befindet sich auch ein portables Messsystem. Neben Einzelmessungen in Vergrößerungsfaktoren von 10 bis 100 können auch großflächige Bilder aus Einzelbildern zusammengefügt werden. Durch die Anwendung einer speziellen Auswertesoftware können anschließend Oberflächenkennwerte, Profilschnitte und Volumenauswertungen durchgeführt werden.

Abbildung 1: 3D Messsysteme am Institut: µSurf Expert, µSurf C, µSurf mobile

Messprinzip

Abbildung 2: Messprinzip

Ein Lichtstrahl wird durch eine Multi-Pinhole-Disc (MPD) auf der Messobjektoberfläche fokussiert. Durch die MPD wird das Licht auf den Fokusanteil reduziert, gelangt zurück ins Messgerät und auf eine Kamera (Auflösung bis 2.048 x 2.048). Durch dieses Prinzip kann bei der Messung Streulicht verhindert werden.

Abbildung 3: 3D Oberflächenmessung einer gewölbten Werkzeugkontur